結(jié)構(gòu)式
| 物競(jìng)編號(hào) | 1747 |
|---|---|
| 分子式 | C |
| 分子量 | 12.01 |
| 標(biāo)簽 | 半導(dǎo)體材料 |
CAS號(hào):7782-40-3
MDL號(hào):MFCD00211867
EINECS號(hào):231-953-2
RTECS號(hào):HL4158550
BRN號(hào):暫無(wú)
PubChem號(hào):暫無(wú)
1. 性狀:粉末
2. 密度(g/mL at 25°C):3.5
3. 相對(duì)蒸汽密度(g/mL,空氣=1):未確定
4. 熔點(diǎn)(oC):未確定
5. 沸點(diǎn)(oC,常壓):未確定
6. 沸點(diǎn)(oC,0.1mmHg):未確定
7. 折射率(n20/D):未確定
8. 閃點(diǎn)(oC):未確定
9. 比旋光度(o):未確定
10. 自燃點(diǎn)或引燃溫度(oC):未確定
11. 蒸氣壓(mmHg,20oC):未確定
12. 飽和蒸氣壓(kPa,-164oC):未確定
13. 燃燒熱(KJ/mol):未確定
14. 臨界溫度(oC):未確定
15. 臨界壓力(MPa):未確定
16. 油水(辛醇/水)分配系數(shù)的對(duì)數(shù)值:未確定
17. 爆炸上限(%,V/V):未確定
18. 爆炸下限(%,V/V):未確定
19. 溶解性:未確定
暫無(wú)
暫無(wú)
暫無(wú)
1、 疏水參數(shù)計(jì)算參考值(XlogP):-1.1
2、 氫鍵供體數(shù)量:0
3、 氫鍵受體數(shù)量:2
4、 可旋轉(zhuǎn)化學(xué)鍵數(shù)量:0
5、 互變異構(gòu)體數(shù)量:
6、 拓?fù)浞肿訕O性表面積(TPSA):34.1
7、 重原子數(shù)量:2
8、 表面電荷:0
9、 復(fù)雜度:0
10、 同位素原子數(shù)量:0
11、 確定原子立構(gòu)中心數(shù)量:0
12、 不確定原子立構(gòu)中心數(shù)量:0
13、 確定化學(xué)鍵立構(gòu)中心數(shù)量:0
14、 不確定化學(xué)鍵立構(gòu)中心數(shù)量:0
15、 共價(jià)鍵單元數(shù)量:1
金剛石晶體膜是一種人工合成的新型功能材料,它由金剛石微晶體構(gòu)成,具有高硬度、低摩擦、高熱導(dǎo)率(為銅的5倍)、低膨脹系數(shù)、良好抗熱沖擊性能、良好抗腐蝕性、極高電絕緣強(qiáng)度、寬波段高透過(guò)率和高電子折射率等多項(xiàng)復(fù)合性能。
本品無(wú)毒。
產(chǎn)品應(yīng)貯存放在陰涼、通風(fēng)、干燥、清潔、無(wú)化學(xué)藥品腐蝕氣氛的庫(kù)房?jī)?nèi)。
制備金剛石薄膜常用的方法是氣相沉積法,該方法可分以下3種類(lèi)型。
(1)熱化學(xué)氣相沉積(TCVD)法 在高溫下使含碳?xì)庀嘟M分發(fā)生熱分解即形成金剛石薄膜。這一方法在早期的制備過(guò)程中是比較成功的方法,目前采用很多的熱絲法(EFCVD)以及對(duì)于沉積速率有著獨(dú)特優(yōu)越性的熱化學(xué)焰法均屬于此類(lèi)。
(2)物理化學(xué)氣相沉積法 用物理化學(xué)方法促進(jìn)CVD過(guò)程,例如等離子增強(qiáng)CVD(PECVD或PACVD)、微波等離子體CVD(MWCVD)、射頻等離子體CVD(RFPECVD)和直流等離子體CVD(DCPECVD)及電子增強(qiáng)CVD(EACVD)等。
(3)物理氣相沉積法 即用物理方法(蒸發(fā)、濺射、離子束等)直接從碳源獲取碳原子或碳離子,將含碳?xì)怏w轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)活性碳原子,定向沉積在物體表面并沉積生成一層致密、均勻、光滑的碳碳原子鍵結(jié)構(gòu)的固態(tài)晶體膜。這類(lèi)工藝的關(guān)鍵技術(shù)是利用高能離子在基材表面的微區(qū)內(nèi)形成75000℃和壓強(qiáng)12×109Pa的熱尖峰,其持續(xù)時(shí)間為10-21s,從而促進(jìn)金剛石膜的形成。沉積工藝需在高能態(tài)、高真空條件下,嚴(yán)格控制電磁場(chǎng)能量,精確掌握含碳化合物的原材料配比和濃度,以及反應(yīng)沉積速率。
用于金屬、塑料、玻璃等材料表面生成金剛石膜。如半導(dǎo)體及半導(dǎo)體器件熱沉電阻、電絕緣層。
危險(xiǎn)運(yùn)輸編碼:暫無(wú)
危險(xiǎn)品標(biāo)志:暫無(wú)
安全標(biāo)識(shí):暫無(wú)
危險(xiǎn)標(biāo)識(shí):暫無(wú)
暫無(wú)
暫無(wú)
共收錄化學(xué)品數(shù)據(jù)
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