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    	          物競編號
    	          15CD

    	        
          
    	        
          
    	          分子式
    	          Si2H6
    	        
          
    	        
          
    	          分子量
    	          62.22
    	        
          
			    
          
    	          標簽
    	          
                      
                        Disilicoethane,
                      
                        Disilicon hexahydride,
                      
                        Silicoethane,
                      
                        disilicane,
                      
                        電子用特種氣體
                      
                  
    	        
          
    	                
    	    
          
    	
          
    
          
    
          
        
    
          
    
          
    	
          編號系統(tǒng)
          
    	
          CAS號：1590-87-0
          
        
          MDL號：MFCD00054678
          
        
          EINECS號：216-466-5
          
        
          RTECS號：暫無
          
        
          BRN號：暫無
          
        
          PubChem號：24869889
          

    	
          物性數(shù)據(jù)
          
    	
          
    		
          1.       性狀：無色透明液體
          2.       密度（g/mL,15℃）：0.686
          3.       相對蒸汽密度（g/mL,空氣=1）：未確定
          4.       熔點（oC）：-132.5
          5.       沸點（oC,常壓）：-14.5
          6.       折射率：未確定
          7.       閃點（oC）：未確定
          8.       自燃點或引燃溫度（oC）：未確定
          9.       比旋光度（o）： 未確定
          10.    蒸氣壓（kPa,25oC）：未確定
          11.    飽和蒸氣壓（kPa,60oC）：未確定
          12.    燃燒熱（KJ/mol）：未確定
          13.    臨界溫度（oC）：未確定
          14.    臨界壓力（KPa）：未確定
          15.    油水（辛醇/水）分配系數(shù)的對數(shù)值：未確定
          16.    爆炸上限（%,V/V）：未確定
          17.    爆炸下限（%,V/V）：未確定
          18.    溶解性：可與氫、氬、氮和氦以任意比例混合。
          
    	
          
    	
          毒理學數(shù)據(jù)
          
    	
          
    		微毒。
          
    	
          
    	
          生態(tài)學數(shù)據(jù)
          
    	
          
    		
          通常對水是不危害的，若無政府許可，勿將材料排入周圍環(huán)境
          
    	
          
    	
          分子結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)
          
    	
          
    		暫無
    	
          
    	
          計算化學數(shù)據(jù)
          
    	
          
    		
          1.疏水參數(shù)計算參考值（XlogP）:無
          2.氫鍵供體數(shù)量:0
          3.氫鍵受體數(shù)量:0
          4.可旋轉(zhuǎn)化學鍵數(shù)量:0
          5.互變異構(gòu)體數(shù)量:無
          6.拓撲分子極性表面積0
          7.重原子數(shù)量:2
          8.表面電荷:0
          9.復(fù)雜度:0
          10.同位素原子數(shù)量:0
          11.確定原子立構(gòu)中心數(shù)量:0
          12.不確定原子立構(gòu)中心數(shù)量:0
          13.確定化學鍵立構(gòu)中心數(shù)量:0
          14.不確定化學鍵立構(gòu)中心數(shù)量:0
          15.共價鍵單元數(shù)量:1
          
    	
          
    	
          性質(zhì)與穩(wěn)定性
          
    	
          
    		
          在常溫常壓下為無色透明氣體，具有刺激性氣味。d4－250.686，熔點－132．5℃，沸點－14．5℃，它具有與硅烷類似的化學性質(zhì)，比硅烷不穩(wěn)定，反應(yīng)性比硅烷更強。在光照或室溫緩慢分解成硅烷和氫，在光照下也可分解。在空氣中自燃，濃度在0.2％以上時燃燒會發(fā)出火焰，濃度低于0.2％時，則發(fā)生氧化反應(yīng)生成白色的二氧化硅。與鹵素氣體發(fā)生爆炸性地反應(yīng)，但如果是在低溫，則適度地進行鹵化。與六氟化硫接觸則爆炸。與四氯化碳和氯仿激烈反應(yīng)。乙硅烷比硅烷更不穩(wěn)定，應(yīng)更加小心。
           
           
          
    	
          
    	
          貯存方法
          
    	
          
    		參照140206電子級硅烷。
          
    	
          
    	
          合成方法
          
    	
          
    		
          1.采用硅烷原料氣，經(jīng)流量計進入放電管，在適當溫度、頻率和電壓下，得到含乙硅烷、甲烷和氫的混合氣，將混合氣在不同的冷卻條件下進行吸收，除掉雜質(zhì)，可得高純乙硅烷。
          2.甲硅烷經(jīng)輝光放電后聚合生成高級硅烷，用液氮冷卻回收，采用低溫精餾法除去氫和甲硅烷即可。
          3.采用硅烷原料氣，經(jīng)質(zhì)量流量計進入放電管，在適當溫度、頻率和電壓下，生成含一定量乙硅烷、甲烷和氫的混合氣，混合氣在不同的冷卻條件下進行吸收，雜質(zhì)被排出，可得高純乙硅烷。
          
    	
          
    	
          用途
          
    	
          
    		
          1.用于太陽能電池、感光轉(zhuǎn)筒、非晶硅膜、外延成長、氧化膜、氮化膜、化學氣相沉積等方面。在太陽能電池生產(chǎn)中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉積速度快得多，且溫度可降低200～300℃。 在離子注入中，以乙硅烷作離子源后易起輝、束流強，效果明顯好于用其他氣體作離子源。
          2.在半導(dǎo)體工藝中用于外延和擴散工藝，也用于太陽能電池和電子照相用的感光鼓。
          3.本品可用于太陽能電池生產(chǎn)、分子束外延和離子注入等技術(shù)。在太陽能電池生產(chǎn)中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉積速度快得多，且溫度可降低200～300℃。在離子注入中，以乙硅烷作離子源后易起輝、束流強，效果明顯好于用其他氣體作離子源。
          
    	
          
    	
          安全信息
          
    	
          危險運輸編碼：UN 3161 2.1
          
    	
          危險品標志：易燃 有害 
          
    	
          安全標識：S16 S24 S26 S36/S37/S39 
          
    	
          危險標識：R17 R42 R20/21 R36/37/38 
          
        
          文獻
          
        
          
            暫無
        
          
        
          備注
          
        
          
            暫無
        
          
    	
          表征圖譜