結構式
| 物競編號 | 00B8 |
|---|---|
| 分子式 | H6Si3 |
| 分子量 | 90.26 |
| 標簽 | 非晶硅氫合金, 氫化非晶硅、α-硅, 半導體材料 |
CAS號:12597-37-4
MDL號:暫無
EINECS號:暫無
RTECS號:暫無
BRN號:暫無
PubChem號:暫無
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非晶硅是元素硅的非晶態半導體。它的吸收系數比單晶硅大一個數量級,其吸收光譜更接近太陽光譜,有良好的光電導特性。制備非晶硅時消耗原材料少,主要原料硅烷(SiH4)成本低??捎貌A?、金屬、聚合物和陶瓷等不同材料作襯底,襯底還可是彎曲的或柔性的。工藝簡單,易于沉積大面積薄膜。它能與硅集成技術兼容,易于實現集成化。因為優質的非晶硅中常含有較多的氫,又稱為非晶硅氫合金或氫化非晶硅
產品應貯存放在陰涼、通風、干燥、清潔、無化學藥品腐蝕氣氛的庫房內,在運輸和貯存過程中要防止機械損傷、受潮和化學腐蝕性物品腐蝕。
1.非晶硅太陽電池的制備方法很多,最常見的是輝光放電法[即等離子體增強化學氣相沉積法(PECVD法),因為PECVD法中等離子狀態大多屬于低壓輝光放電,故又稱為輝光放電法(GD法)],此外還有反應濺射法(SP法)、低壓化學氣相沉積法(LPCVD法)、電子束蒸發法和熱分解硅烷法等。利用輝光放電制取非晶硅薄膜的嘗試早在1969年奇蒂克等人就已實現,但對此種半導體硅材料進行摻雜,則是在1975年以后才突破的。美國于1976年采用此種方法制成非晶硅太陽電池。PECVD設備主要包括放電系統、抽氣系統、反應室及氣體導入系統。其簡單過程是:將一個石英容器抽成真空,充入氫氣或氮氣稀釋的硅烷。射頻電源用電容或電感耦合方式加在反應器外側的電極上,使硅烷電離,產生化學上非?;顫姷募ぐl態分子、離子,促進化學反應,非晶硅膜就沉積在溫度為200~300℃的襯底表面上形成薄膜。若硅烷中混入適當比例的PH5或B2H6,即可得到N型或P型的非晶硅膜。作為襯底材料,可用不銹鋼或玻璃等。這種制備非晶硅膜的工藝,在很大程度上取決于氣壓、襯底溫度、氣體流速和射頻功率等許多方面,控制條件十分嚴格。
用于制造α-Si太陽電池、光接儀器、光導攝像管、空間光調制器、光傳感器、場效應器件。
危險運輸編碼:暫無
危險品標志:暫無
安全標識:暫無
危險標識:暫無
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共收錄化學品數據
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