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    	          物競編號
    	          00BE

    	        
          
    	        
          
    	          分子式
    	          F3N
    	        
          
    	        
          
    	          分子量
    	          71
    	        
          
			    
          
    	          標(biāo)簽
    	          
                      
                        電子級三氟化氮,
                      
                        Nitrogen trifluoride，Electronic grade,
                      
                        蝕刻氣
                      
                  
    	        
          
    	                
    	    
          
    	
          
    
          
    
          
        
    
          
    
          
    	
          編號系統(tǒng)
          
    	
          CAS號：7783-54-2
          
        
          MDL號：暫無
          
        
          EINECS號：232-007-1
          
        
          RTECS號：暫無
          
        
          BRN號：暫無
          
        
          PubChem號：24862062
          

    	
          物性數(shù)據(jù)
          
    	
          
    		
          1.性狀：無色、帶霉味的氣體。[1]
          2.熔點(diǎn)（oC）：-208.5[2]
          3.沸點(diǎn)（oC）：-129[3]
          4.相對密度（水=1）：1.89（沸點(diǎn)，液體）[4]
          5.相對蒸氣密度（空氣=1）：2.45[5]
          6.臨界溫度（oC）：-39.3[6]
          7.臨界壓力（MPa）：4.53[7]
          8.溶解性：不溶于水。[8]
          
    	
          
    	
          毒理學(xué)數(shù)據(jù)
          
    	
          
    		
          1.急性毒性[9]  LC50：19000mg/m3（大鼠吸入，1h）；5600mg/m3（小鼠吸入，4h）
          2.刺激性  暫無資料
          3.亞急性與慢性毒性[10]  大鼠于308mg/m3濃度下，每天吸入7h，共4~5個月，見肝、腎有輕至中度病理改變，脾腫大，尿氟增高。
          
    	
          
    	
          生態(tài)學(xué)數(shù)據(jù)
          
    	
          
    		
          1.生態(tài)毒性  暫無資料
          2.生物降解性  暫無資料
          3.非生物降解性  暫無資料
          4.其他有害作用[11]  室溫氣體，會造成全球氣候變暖。
          
    	
          
    	
          分子結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)
          
    	
          
    		
          1、摩爾折射率：6.26
          2、摩爾體積（cm3/mol）：52.1
          3、等張比容（90.2K）：86.3
          4、表面張力（dyne/cm）：7.5
          5、極化率（10-24cm3）：2.48
          
    	
          
    	
          計算化學(xué)數(shù)據(jù)
          
    	
          
    		
          1.疏水參數(shù)計算參考值（XlogP）:1.9
          2.氫鍵供體數(shù)量:0
          3.氫鍵受體數(shù)量:4
          4.可旋轉(zhuǎn)化學(xué)鍵數(shù)量:0
          5.互變異構(gòu)體數(shù)量:無
          6.拓?fù)浞肿訕O性表面積3.2
          7.重原子數(shù)量:4
          8.表面電荷:0
          9.復(fù)雜度:8
          10.同位素原子數(shù)量:0
          11.確定原子立構(gòu)中心數(shù)量:0
          12.不確定原子立構(gòu)中心數(shù)量:0
          13.確定化學(xué)鍵立構(gòu)中心數(shù)量:0
          14.不確定化學(xué)鍵立構(gòu)中心數(shù)量:0
          15.共價鍵單元數(shù)量:1
          
    	
          
    	
          性質(zhì)與穩(wěn)定性
          
    	
          
    		
          1.高純NF3幾乎沒有氣味，但商業(yè)用NF3由于有痕量活性氟，因而具有刺激性氣味。臨界溫度氣體。NF3是一種熱力學(xué)穩(wěn)定的氧化劑，大約在350℃時，它的反應(yīng)活性相當(dāng)于氧，在高溫下，NF3能與許多元素反應(yīng)生成N2F4和相應(yīng)的氟化物。三氟化氮是一種毒物，其主要危害是由于呼吸道吸入而中毒。
          2.穩(wěn)定性[12]  穩(wěn)定
          3.禁配物[13]  還原劑、易燃或可燃物
          4.避免接觸的條件[14]  受熱
          5.聚合危害[15]  不聚合
          
    	
          
    	
          貯存方法
          
    	
          
    		
          1.在70℃以下NF3氣體對普通金屬是不腐蝕的，因此鋼、銅、鎳、鋁和不銹鋼在70℃以下均可用作包裝材料。用鋼瓶和鋁合金瓶充裝，對氣瓶每兩年要檢驗(yàn)一次。按有毒高壓液化氣體規(guī)定運(yùn)輸，國外規(guī)定可以用汽車、火車運(yùn)輸，不能用飛機(jī)運(yùn)輸。氣瓶充裝系數(shù)不大于0.01。
          2.儲存注意事項(xiàng)[16]  儲存于陰涼、通風(fēng)的有毒氣體專用庫房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應(yīng)與易（可）燃物、還原劑、食用化學(xué)品分開存放，切忌混儲。儲區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。
          
    	
          
    	
          合成方法
          
    	
          
    		
          在熔融氟銨酸存在下，采用氨直接氟化工藝，其反應(yīng)式為：
          反應(yīng)產(chǎn)物經(jīng)過除霧器、淋洗器、分子篩吸附器，以及真空蒸餾，可分別除去各種雜質(zhì)，最后用低溫法收集得到NF3。
          
    	
          
    	
          用途
          
    	
          
    		
          1.NF3是微電子工業(yè)中一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，對硅和氮化硅的蝕刻，采用NF3和CF4＋O2的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對表面無污染。氫與NF3反應(yīng)，在瞬間伴隨放出大量的熱，這就是NF3在高能化學(xué)激光器方面大量應(yīng)用的原理。在高溫下，NF3與有機(jī)化合物反應(yīng)常伴有爆炸性，操作時應(yīng)十分謹(jǐn)慎。
          2.用作高能燃料。[17]
          
    	
          
    	
          安全信息
          
    	
          危險運(yùn)輸編碼：暫無
          
    	
          危險品標(biāo)志：氧化劑 
          
    	
          安全標(biāo)識：S17 S23 S38 
          
    	
          危險標(biāo)識：R8 R20 
          
        
          文獻(xiàn)
          
        
          
            [1~17]參考書：危險化學(xué)品安全技術(shù)全書.第一卷/張海峰主編.—2版.北京；化學(xué)工業(yè)出版社，2007.6 ISBN 978-7-122-00165-8
        
          
        
          備注
          
        
          
            暫無
        
          
    	
          表征圖譜